ウェーハの歩留まりを悪化させる、ストップランプの故障を防ごう 高負荷の半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。一度壊れてしまうと、そのロット全体が台無しになってしま...

もうホットエアを待つのはやめましょう。ウェーハを加熱するためのより良い方法があります。 依然として、多くの半導体製造ラインでホットエアを利用しているのを見かけます。特に古い設備ではよくあることです。しかし正直に言って、その方法は効率が悪すぎます。 対流に頼ると、わずかなウェーハを適切な温度にするた...

なぜクリーンルーム用のトロリーヒーターで強制送風方式をやめて赤外線方式に切り替えるのか？ 半導体の高度な加工工程に携わったことがある人なら、「トロリーの準備待ち」という不便さを知っているはずです。これは典型的なボトルネックです。 従来の方法では、熱風を利用して加熱します。しかし、これは効率が悪いで...

ウェーハを破壊するようなランプの故障を防ぐ方法 半導体製造工場において、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が一時的に停止するだけではありません。高負荷の状態で石英管が破裂すると、ガラス片やほこりが至る所に飛び散ります。これはウェーハにとって深刻な汚染事故につながります。 私たちは、そうした事態...

製造現場において、フォトレジストの加熱処理中の温度変動や、洗浄後に残る水分は、単に生産効率を低下させるだけではありません。これらは部品の寸法を変化させ、歩留まりを悪化させます。私たちは、このような問題を解決するために、半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、温度制御が適切に行われ、サイ...

リソグラフィ工程において、ソフトベイクとハードベイクは単なる工程ではない。これらは、パターンが繰り返されるか、スクラップとなるかの境界線である。ウェハ全体で2℃のずれが生じると、クリティカルディメンションが変動し、ベイク中の粒子生成は歩留まりを低下させる。私たちはこの現実に対応するため、近赤外線...