ウェーハの歩留まりを悪化させる、ストップランプの故障を防ごう
高負荷の半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。
石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。一度壊れてしまうと、そのロット全体が台無しになってしまいます。そして、チャンバーを何時間もかけて清掃するという面倒な作業が待っています。
誰もそんなことは望みません。
熱に対処する方法
私たちは、過酷な条件下でも耐えられるように赤外線ランプを設計しています。電力を急速に切り替えると、フィラメントと管壁の間の温度差が非常に大きくなります。このようなストレスによって、安価なガラスは破損してしまいます。
これを防ぐために、高純度の融成石英を使用しています。この素材は、一般的なガラスに比べて膨張や収縮がほとんどないため、連続して最大出力で動作しても管が壊れることはありません。
安全装置の追加
一般的なランプでは、災害のリスクが高くなります。私たちは、特別なコーティングや外側の石英スリーブを追加することで、この問題を解決しています。これはある種のバックアップ策です。内側の管が割れたり、加熱素子が故障したりした場合でも、外側の層が破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハはきれいな状態のまま保たれます。
電気的な側面
よくある間違いとして、接続部が緩んでいることが挙げられます。これによりアークが発生し、激しい熱が生じて結局管が破損してしまいます。
私たちは精密に調整された端子を使用して、しっかりと固定します。しかし、ユーザーも自分の責任を果たす必要があります。電源の電圧をランプが要求する値に正確に設定する必要があります。「もっと熱を得るために」過剰な電圧をかけるのは魅力的に思えますが、実際にはランプの寿命を短縮し、故障の原因になります。
トレードオフ
もちろん、欠点もあります。保護用のスリーブやコーティングを追加すると、赤外線の一部がウェーハに届かなくなります。その結果、加熱速度が少し遅くなります。
しかし、安心感のためには小さな代償を払う必要があります。処理速度を維持するためには、昇温時間を調整したり、ランプの数を増やしたりする必要があるかもしれません。