もうホットエアを待つのはやめましょう。ウェーハを加熱するためのより良い方法があります。
依然として、多くの半導体製造ラインでホットエアを利用しているのを見かけます。特に古い設備ではよくあることです。しかし正直に言って、その方法は効率が悪すぎます。
対流に頼ると、わずかなウェーハを適切な温度にするためだけに、部屋全体を温める必要があります。これは時間がかかり、無駄が多いです。そして、毎回の生産時間も無駄になります。
答えは赤外線です。
赤外線加熱では、空気を温める代わりに、電磁波を使って直接基材にエネルギーを与えます。まるで寒い日に太陽の光が肌に当たるようなものです。周囲の空気が氷点下でも、すぐに暖かさを感じられます。
ファンが空気を送風するのを待つ必要はありません。光子で直接材料に熱を与えるのです。これは非常に高速です。
もちろん、この方法を実現するには適切なハードウェアが必要です。テフロンコーティングされた配線を使用します。なぜかというと、熱勾配が激しいからです。通常の絶縁材では溶けてしまったり、短絡してしまったりします。それは避けたい状況です。
また、クリーンルームでは汚染が大敵です。PVCやシリコン製の配線を使うと、赤外線ランプの熱で分解してしまいます。そこで、テフロン（PTFE）を使用します。これは耐久性が高く、化学物質にも強く、ヒーターが限界に達しても回路が正常に動き続けます。
これによって、実際にどのような効果が得られるのでしょうか？
熱慣性がなくなるため、処理時間が短縮されます。また、大型のダクトや騒音の大きいブロワーを使わなくて済むため、機械のサイズも小さくなります。
しかし、これは魔法の杖ではありません。注意点もあります。
赤外線は方向性があります。ホットエアは部品を布団のように包み込みますが、赤外線はスポットライトのように作用します。ランプの位置が間違っていると、冷たい部分ができてしまいます。
複雑な形状の部品を扱う場合は、単にヒーターを交換するだけでは不十分です。熱の分布を把握し、装置の配置を調整して、すべての部分が同じ温度になるようにしなければなりません。
事前の計画が少し必要ですが、得られる速度の速さはその努力に見合う価値があります。