真空対応の赤外線ヒーター

真空チャンバーの壁を加熱するのはやめましょう 真空チャンバー内でウェーハを加熱するのは、かなり面倒な作業です。一般的な赤外線ヒーターを使うと、熱があちこちに散らばってしまいます。これでは大変です。 その結果、チャンバーの壁が過度に高温になってしまいます。高価な半導体製造装置は、実質的に無駄なエネル...