なぜクリーンルーム用のトロリーヒーターで強制送風方式をやめて赤外線方式に切り替えるのか？ 半導体の高度な加工工程に携わったことがある人なら、「トロリーの準備待ち」という不便さを知っているはずです。これは典型的なボトルネックです。 従来の方法では、熱風を利用して加熱します。しかし、これは効率が悪いです。まず空気を温め、その空気がトロリーを温め、最終的にトロリーがウェハキャリアを温めるというプロセスになります。実際に熱が必要な場所に届くまでに時間がかかり、全体の処理速度が遅くなります。 仲介者を排除する 赤外線加熱では、空気を使う必要がありません。赤外線エミッターから直接エネルギーが材料に届きます。 つまり、直接的な加熱です。 強制送風方式から赤外線方式に切り替えると、準備時間が数分から数秒に短縮されます。大量生産の工場では、この数秒の節約が大きなメリットとなります。結果として、各シフトでより多くのウェハを処理できるようになります。 清潔さと静音性の両立 また、クリーンルームという観点からも、強制送風方式は問題があります。強制送風方式は、まるで巨大なほこり吹き飛ばし機のようで、あらゆるものをかき混ぜてしまいます。そのため、厳重なフィルタリングや常時のメンテナンスが必要になります。 一方、赤外線方式は静かで、何も動きません。ファンも不要で、フィルターも詰まることがありません。また、装置自体も小型なので、床面積を有効活用できます。 もう一つの利点は、熱の集中度です。熱をトロリーの特定の部分に集中させることができます。これにより、キャリアが不均等に膨張するのを防げ、精度を重視する人々にとっては大きな利点です。 注意点 ただし、赤外線方式も完璧ではありません。明確な視界が必要です。 もしトロリーの形状が奇妙だったり、深い凹みがあったりすると、放射線が隅々まで届かず、冷たい部分ができてしまいます。 そのため、このシステムをそのまま使うことはできません。エミッターをどこに配置するかを正確に計画する必要があります。もしランプがキャリアに近すぎると、キャリアの表面が焼けてしまいます。また、温度が急上昇した時に即座に対応できるPIDコントローラーも必要です。