オゾンフリー赤外線ランプ
半導体製造工場にいたことがある人なら、温度管理がいかに重要かを知っているでしょう。しかし、通常の短波長赤外線ランプには隠れた問題があります。これらのランプは、200nm未満の波長の光を放出する傾向があり、それが問題の原因となります。
その光によって空気中でオゾンが生成されます。確かに厄介ですが、実...
無鉛はんだウェーハプリヒーター
包装フロアでは、温度トレーサビリティシートは言い訳を受け付けない。予熱プロファイルで0.5℃のずれがあれば、無鉛接合部に空洞が発生するか、あるいはダイシング後にのみ現れるフォトレジストのフットリングが発生する可能性がある。フラックス活性化は秒単位で進行し、熱予算が固定されている場合、プリヒーターは...