クリーンを保つ：水素センサーの加熱における現実 水素センサーを作るとき、わずかなほこりさえも許されない。それは単なる迷惑どころか、大惨事につながる。ほんの数秒で、一括して製品がダメになってしまう可能性があるのだ。 ですから、このような用途向けのヒーターを作るときは、単に温度だけを考えるわけではあり...

センサーの包装において、IRエネルギーを最大限に活用する方法 スマートセンサーを包装する際には、1ワットごとが重要です。本来シリコンに届くはずのエネルギーが、チャンバーの壁に漏れてしまうのは非常に悔しいことです。 鍵となるのは、その熱エネルギーを正確に必要な場所に送り込むことです。だからこそ、私た...

ウェーハ処理用ツールをオーブンのように使わないでください ウェーハ処理用ツールを作るとき、最も避けたいのが、内部の壁面を加熱するためにエネルギーを無駄にすることです。 一般的な加熱要素は、あらゆる方向に熱を放出します。これでは混乱してしまいます。その結果、「高温の壁面」ができてしまい、装置のフレー...

ウェーハ処理用の高精度赤外線センサー 将来に向けて機能するファブを構築する際、熱というのは単なる熱ではありません。それは情報そのものです。重要なのは、ウェーハを加熱できるかどうかではなく、システムがその熱を正確に読み取り、意味を理解できるかどうかです。 ここで役立つのが高精度赤外線センサーです。こ...