ウェーハを破壊するようなランプの故障を防ぐ方法
半導体製造工場において、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が一時的に停止するだけではありません。高負荷の状態で石英管が破裂すると、ガラス片やほこりが至る所に飛び散ります。これはウェーハにとって深刻な汚染事故につながります。
私たちは、そうした事態を防ぐために、金コーティングを施した赤外線ランプを開発しました。これにより、必要な熱を確実に得ることができます。
なぜ金なのか？
通常の石英ランプは、熱をあらゆる方向に放出しますが、その多くは空気中に消えてしまいます。これを解決するために、管の表面に薄層の金を塗ります。これはまるで鏡のように機能し、赤外線エネルギーをウェーハに直接向けて反射させます。そうすることで、過度な電圧をかけることなく、より集中的で強力な熱を得ることができます。これにより、石英管が過度なストレスを受けて割れるのを防ぎます。
爆発を防ぐために
ほとんどの場合、ランプの故障は熱衝撃や突然の高温点によって引き起こされます。これに対処するために、膨張に耐えられる高純度の合成石英を使用しています。また、金コーティングによって熱が管全体に均等に分散されます。
しかし、ひとつアドバイスがあります。必ず、このランプには石英製の保護ケースを装着してください。もしランプが故障しても、保護ケースが障壁となり、破片がウェーハに当たるのを防ぎます。ただし、ランプと保護ケースの間隔は必ず均一にしてください。不均一だと、高温点ができて管が早く破損してしまいます。
トレードオフとその対処法
金コーティングによってランプの効率は向上しますが、少し扱いが難しいです。コーティングは敏感で、わずかな傷でも熱が適切に反射されない箇所ができてしまい、それが高温点の原因となります。
必ず手袋を着用してください。
指紋によってガラスに油分が残ります。その油分がコーティングに付着すると、永久的な暗点ができ、加熱性能が低下します。
最後に、電気的な側面についてです。正確なPID制御システムを使用してください。電源を頻繁にオンオフすると、高ワット数のランプの寿命が短くなります。また、冷却ファンも十分な性能を持っているか確認してください。そうでないと、コネクタが破損してしまいます。