ウェーハ加工装置用温度センサー

ウェーハ処理用ツールをオーブンのように使わないでください ウェーハ処理用ツールを作るとき、最も避けたいのが、内部の壁面を加熱するためにエネルギーを無駄にすることです。 一般的な加熱要素は、あらゆる方向に熱を放出します。これでは混乱してしまいます。その結果、「高温の壁面」ができてしまい、装置のフレー...