熱予算はファブフロアで妥協できない唯一の要素である。RTP中の温度均一性のわずかな乱れは接合深度を変化させ、フォトレジストのベーク温度が数度ずれるだけで、ライン幅制御は不可能になる。RTPシステムの中心にあるあのハロゲンランプこそが熱管理の基本となる部分だ。 内部で重要なポイント ハロゲンランプは...

ハロゲンヒーター：知らなかった産業用ヒートハック ハロゲンヒーターについて話しましょう。これらは産業用加熱の縁の下の力持ち―コンパクトで頑丈、そして必要な場所に的確に強烈な熱を届けるように作られています。 狭いスペースで作業していて、温まるのを待つ余裕がないとき、これらのヒーターが頼りになります。...