省エネ型ウェーハヒーター
ファブの現場において、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、デザインが成功するか失敗するかが決まる重要な瞬間です。ソフトベイクやハードベイク時に1℃の偏差があるだけで、回路の幅が変わってしまいます。その結果、ウエハーには潜在的な欠陥が残り、それは電気試験時になって初めて明...
省エネなスペースヒーター
壁面は蒸気で覆われ、床は滑りやすくなっている。また、空気も冷たい。呼吸をするとすぐに鏡が曇り、タオルも乾く前から冷たく感じられる。このようなバスルームでは、暖かさを得ることは単なる望みではなく、実用的な必要条件だ。しかし、快適さを求めて電気の安全性を犠牲にしてはいけない。そのため、私たちは「湿潤な...