ウェーハ処理用ツールをオーブンのように使わないでください
ウェーハ処理用ツールを作るとき、最も避けたいのが、内部の壁面を加熱するためにエネルギーを無駄にすることです。
一般的な加熱要素は、あらゆる方向に熱を放出します。これでは混乱してしまいます。その結果、「高温の壁面」ができてしまい、装置のフレームが膨張したり、さらに悪いことに、機械を操作する人々にとって実際の安全上のリスクが生じます。
私たちは別の方法を採用しています。つまり、方向性のある赤外線加熱を利用するのです。
どのように機能するか
これは、電球の代わりに懐中電灯を使うようなものです。熱があちこちに漏れ出すのではなく、特殊な反射器や波長エミッタを使って、そのエネルギーを直接ウェーハに向けて送ります。そうすれば、必要な場所だけが加熱され、チャassisは冷たいままです。つまり、キャビネットの内部をサウナのようにしなくても、必要な温度を得ることができます。
なぜこれが便利か
これは冷却システムにとって大きな利点です。
もし標準的なランプを使用している場合、クーラーは壁面が過熱しないように必死に働かなければなりません。しかし、方向性のある赤外線加熱を使えば、ツール内の周囲温度が大幅に下がります。
これは簡単な解決策ですが、メンテナンスのためにチャンバーを開けたときに、作業員が火傷する心配がなくなります。これは工場全体にとって大きな利点です。
注意点とその対処法
ただし、これは「プラグインすればすぐ使える」というものではありません。方向性のある赤外線加熱は非常に精密なので、正確に設置する必要があります。
もしランプの位置が数ミリでもずれていると、ウェーハに冷たい部分ができてしまいます。これは厄介です。それを避けるためには、取り付けブラケットがしっかりしているか、何のズレもないようにしなければなりません。
また、この種のランプはフィラメント部分が非常に熱くなります。配線に安物を使ってはいけません。コネクタが十分な耐熱性を持っているか確認してください。そうしないと、早急に端子が破損してしまいます。