プロ用製造装置部品

ファブフロアにおいて、熱性能は「あると便利」なものではない。プロセスがウィンドウ内に留まるか、逸脱してウェーハをスクラップするかの境界線である。ベイクランプが暗くなり始めたり、ホットゾーンがずれたり、ヒーターが故障したりすると、猶予期間はない。リソグラフィのオーバーレイはずれ、フォトレジストのプロ...