半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜクリーンルーム用のトロリーヒーターで強制送風方式をやめて赤外線方式に切り替えるのか？ 半導体の高度な加工工程に携わったことがある人なら、「トロリーの準備待ち」という不便さを知っているはずです。これは典型的なボトルネックです。 従来の方法では、熱風を利用して加熱します。しかし、これは効率が悪いで...