コーター用開発者赤外線ヒーター

リソグラフィフロアにおけるベイク工程は単なる休憩ではなく、厳格なプロセス境界である。ソフトベイクおよびハードベイクの温度がわずかでもずれると、フォトレジストのプロファイルが傾き、クリティカルディメンションの制御に影響を与え、生産歩留まりが大幅に低下する。コーター／デベロッパーラインが7×24稼働し...