手を火傷しないための方法：ファブ装置を加熱するためのより優れた手段 もし、クリーンルーム用の機器を更新する作業を経験したことがあるなら、おそらく次のような問題に直面したことがあるでしょう。つまり、機械の内壁が非常に熱くなり、危険な状態になってしまうのです。これは本当に厄介な問題です。高価な機器を持...

ファブフロアにおいて、熱性能は「あると便利」なものではない。プロセスがウィンドウ内に留まるか、逸脱してウェーハをスクラップするかの境界線である。ベイクランプが暗くなり始めたり、ホットゾーンがずれたり、ヒーターが故障したりすると、猶予期間はない。リソグラフィのオーバーレイはずれ、フォトレジストのプロ...