センサーの包装において、IRエネルギーを最大限に活用する方法
スマートセンサーを包装する際には、1ワットごとが重要です。本来シリコンに届くはずのエネルギーが、チャンバーの壁に漏れてしまうのは非常に悔しいことです。
鍵となるのは、その熱エネルギーを正確に必要な場所に送り込むことです。だからこそ、私たちは金プライドのIR反射材を利用します。
なぜ金を使うのか？
多くの人はアルミニウムから始めますが、問題は、アルミニウムが過度にエネルギーを吸収してしまう点です。つまり、エネルギーがウェーハに届く前に失われてしまいます。
一方、金は異なります。IR放射線を効率的に反射する能力があります。エネルギーがケース内に吸収されたり、ランダムに散乱したりする代わりに、金のコーティングがその光子を再びターゲット領域に戻します。まるで熱の鏡のように、すべてのエネルギーをウェーハに集中させるのです。
速度の向上とリスク
放射線を集中させることで、はるかに高い熱流束が得られます。非常に速いのです。これにより、処理時間が短縮され、包装ライン全体がスムーズに動作します。
しかし、注意が必要です。エネルギーが集中されるため、位置合わせを正確に行う必要があります。もしランプの位置が数ミリでもずれていると、熱が集中してしまい、一括生産が台無しになってしまいます。私は、常に正確な位置合わせを行うことを推奨します。
欠点
金は素晴らしい材料ですが、完璧というわけではありません。
もし加工工程で腐食性のあるガスや多くのガスが発生する場合、金の層が汚れてしまいます。残留物や酸化膜が蓄積されると、反射率が低下します。
それはすぐに分かります。ランプが同じ電流を流していても、ウェーハの温度が適切に上がらないのです。
このような問題を避けるためには、チャンバーを常に清潔に保つ必要があります。または、反射材を守るために保護用の石英シールドを使用するのが最善です。そうすれば、長期的に見て多くの手間や停止時間を節約できます。