半導体製造工場にいたことがある人なら、温度管理がいかに重要かを知っているでしょう。しかし、通常の短波長赤外線ランプには隠れた問題があります。これらのランプは、200nm未満の波長の光を放出する傾向があり、それが問題の原因となります。
その光によって空気中でオゾンが生成されます。確かに厄介ですが、実際に大きな問題となるのはエネルギー代です。HVACシステムは常にフル稼働し、空気を浄化し、換気を強化して安全を保つ必要があります。これは莫大なエネルギーの無駄遣いです。
解決策は？オゾンの生成を最初から防ぐことです。
私たちは、特殊な石英ケースや内部コーティングを使用してこれを実現しています。これらは185nmの波長を遮断し、酸素分子を分解する光を防ぎます。
そうすれば、必要な熱量はそのまま得られますが、化学的な副産物は発生しません。そうなれば、空気処理装置も無駄な労力を使わずに済み、エネルギー消費も減少します。
次に、性能についてです。 これらのランプは非常に速く加熱できます。ウェーハの焼成や硬化処理を行う際には、まさに理想的な特性です。エネルギーが赤外線領域に集中するため、熱は直接基板上に伝わります。
ただし、注意点もあります。パワー密度をしっかり管理する必要があります。高出力のオゾンフリータイプのランプは強力です。もし筐体がそのような高い熱に耐えられない場合、フィラメントが早く壊れてしまいます。私は、正確なPIDコントローラーを使用することを強くお勧めします。そうすれば、目標温度を超えることがなく、ハードウェアの損傷も防げます。
最良な点は、これが環境負荷の削減にも役立つということです。まず、直接加熱方式は、従来の対流式オーブンよりもはるかに効率的です。さらに、オゾンを室内に充満させないため、大量の排気作業も不要です。
簡単に言えば、既存の電源に接続すれば良いのです。生産ライン全体を取り壊したり、作業プロセスを再設計したりする必要はありません。過剰な換気システムによるエネルギー消費を避けることができます。これは、企業が直面する一般的な問題を抱えずに、カーボンニュートラルに近づくための実用的な方法です。