ウェーハを破壊するようなランプの故障を防ぐ方法 半導体製造工場において、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が一時的に停止するだけではありません。高負荷の状態で石英管が破裂すると、ガラス片やほこりが至る所に飛び散ります。これはウェーハにとって深刻な汚染事故につながります。 私たちは、そうした事態...

無駄な電力の消費をやめよう：金メッキツインチューブランプの真実 半導体ウェハを処理する人なら、無駄に電力が消費されてしまうことの厄介さをよく知っているでしょう。一般的な石英ランプは単なる電球に過ぎず、エネルギーをあちこちに散らしてしまいます。その熱のほとんどは、実際にウェハに届く前に装置の筐体を温...