もし、クラス100のクリーンルームを運用しているのであれば、皆さんもご存知の通り、ほんのわずかな塵があっても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。このような環境では、ほとんどの加熱要素は問題を引き起こします。なぜなら、安定して動作するべき瞬間に、それらが剥がれ落ちたり、ガスを放出したりしてしまうからです。
そのため、私たちは赤外線ランプには高純度の合成石英を使用しています。これは、単に「清潔さ」を目指すだけでなく、それ自体が目的となる洗浄・乾燥工程に特化して設計されているのです。
秘密はガラスにあります。 私たちは、OH含有量が高い融解シリカを使用しています。簡単に言えば、何千回も加熱・冷却を繰り返しても、チューブが破損したり、表面に霜がついたりするのを防ぐのです。
チューブが多孔質になると、汚染物質を吸収するスポンジのようになってしまいます。そうなると、その微粒子が生産ラインにまで届いてしまいます。表面を滑らかで化学的に不活性な状態に保つことで、加熱過程で洗浄工程が乱れるのを防ぎます。
水と熱への対応。 これらのランプは洗浄エリアで使用されるため、端には専用の防水シールが施されています。安価な接着剤は使われておらず、熱くなると臭いやガスが発生します。代わりに、高温に耐えられるゴムを使用し、水分が電気接点に触れないようにしています。
ただし、これらのチューブは非常に強力なので注意が必要です。短波長の石英は急速に熱を上昇させるため、部品が適切な速度で動かない場合、局所的に過度な高温が発生し、基板が焼けてしまうことがあります。ですから、コンベヤーの速度をしっかりチェックして、基板が焼けないようにしましょう。
実際の現場での利用方法。 これらは「そのまま交換可能」な設計になっています。誰もが停止時間を使ってハードウェアの調整に時間を費やしたくはありません。また、振動に耐えるためにコネクタをしっかり固定しておくことで、工業的な洗浄時によく起こるアーク故障を防げます。
最後に、これらを高圧配線に接続する際のアドバイスです。PIDコントローラーに注意しましょう。石英は反応が速いので、コントローラーの応答が遅いと、ランプが目標温度を超えてしまい、フィラメントが早く消耗してしまいます。