真空チャンバーの壁を加熱するのはやめましょう 真空チャンバー内でウェーハを加熱するのは、かなり面倒な作業です。一般的な赤外線ヒーターを使うと、熱があちこちに散らばってしまいます。これでは大変です。 その結果、チャンバーの壁が過度に高温になってしまいます。高価な半導体製造装置は、実質的に無駄なエネル...

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.2℃でもフォトレジストの加熱条件が変わってしまうと、重要な寸法の制御が失われてしまいます。真空チャンバー内の赤外線ヒーターの性能が低下すると、単に歩留まりが悪くなるだけでなく、工程のスケジュールも乱れてしまいます。私たちは、現代のウェーハ加工に求められる厳格な...