IR加熱 versus 熱風：バイオセンサーにとって、どちらが実際に有効なのか？ もし半導体分野でバイオセンサーを開発しているのであれば、最も頭を悩ませるのは通常、硬化や乾燥の工程です。これがボトルネックとなり、すべての作業が遅くなってしまいます。 従来の装置では、単に熱風を送り込むだけです。これ...

もう、装置を加熱するのはやめましょう。バイオセンサーを加熱するためのより良い方法があります。 ほとんどの赤外線ヒーターには問題があります。それは、熱があらゆる方向に散らばってしまうことです。 バイオセンサーを製造する際には、その熱エネルギーが基板上にだけ届く必要があります。高価な半導体装置の内部に...

クリーンを保つ：水素センサーの加熱における現実 水素センサーを作るとき、わずかなほこりさえも許されない。それは単なる迷惑どころか、大惨事につながる。ほんの数秒で、一括して製品がダメになってしまう可能性があるのだ。 ですから、このような用途向けのヒーターを作るときは、単に温度だけを考えるわけではあり...

ファブの清掃：なぜIR加熱が効果的なのか 正直言って、半導体製造工場は莫大な電力を消費する場所です。もし真に炭素中立の目標を達成したいのであれば、単に電球を交換するだけでは不十分です。根本的な対策が必要です。 長年にわたり、私たちは対流式のオーブンを利用してきました。しかし問題点は、これらのオーブ...

なぜ私たちが赤外線硬化にCNTを使用するのか 半導体業界もついに改善の動きを見せています。古い溶剤を使った乾燥方法や、鉛を多く含む工程を廃止しようという動きが活発になっています。そろそろその時です。 こうした「グリーン」な要求に応えるため、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを採用してい...

製造現場においては、熱変動は目立たない形で作用し、静かに歩留まりを悪化させてしまいます。量子ドットの製造には、単に規格内に収まるだけでなく、ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱、パッケージングの工程全体にわたって厳格な温度管理が求められます。温度の均一性が失われると、線幅の制御が悪くなったり、洗浄...