LPCVD炉の加熱素子

ファブ内では、炉の加熱要素は単なる熱源として機能するだけではありません。それはフィルムの厚さを調整したり、応力をコントロールしたり、接合部の完全性を保つ役割も果たします。わずか数度の偏差があっただけで、品質が急激に低下してしまいます。さらに、粒子が発生すると、大量の製品が廃棄処分になってしまいます...