ウェーハの歩留まりを悪化させる、ストップランプの故障を防ごう 高負荷の半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。一度壊れてしまうと、そのロット全体が台無しになってしま...

寒さはあっという間に近づいてきます。しばらくの間はテラスでゆっくり過ごせていたのに、次の瞬間には早く家の中に戻らなければならないこともあります。風が吹き抜けるリビングルームの隅や、暖まらない作業場は、時間や快適さを奪ってしまいます。私たちは、高額にならずに信頼できる暖かさを提供するために、このヒー...

製造現場において、フォトレジストの加熱処理中の温度変動や、洗浄後に残る水分は、単に生産効率を低下させるだけではありません。これらは部品の寸法を変化させ、歩留まりを悪化させます。私たちは、このような問題を解決するために、半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、温度制御が適切に行われ、サイ...

リソグラフィ工程において、ソフトベイクとハードベイクは単なる工程ではない。これらは、パターンが繰り返されるか、スクラップとなるかの境界線である。ウェハ全体で2℃のずれが生じると、クリティカルディメンションが変動し、ベイク中の粒子生成は歩留まりを低下させる。私たちはこの現実に対応するため、近赤外線...