ファブ乾燥用のエネルギー監査

半導体製造工場における二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が効果的なのか 半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現しようとする場合、乾燥工程に目を向ける必要があります。この工程はエネルギー消費が激しいのです。従来の対流式オーブンでは、数枚のウェーハを乾燥させるためだけに、部屋全体を加熱してしまいます。...