ファブフロアでの常識 ウエハー乾燥やフォトレジストベーク中の0.1℃の温度逸脱が、ライン歩留まりを静かに損なうことは周知の通りです。ヒーターは単なる背景の箱ではなく、リソグラフィにおける寸法管理を支配する熱予算を設定します。私たちは、工程管理が絶対条件であり、予期せぬダウンタイムが直接ウエハーの廃...

熱予算はファブフロアで妥協できない唯一の要素である。RTP中の温度均一性のわずかな乱れは接合深度を変化させ、フォトレジストのベーク温度が数度ずれるだけで、ライン幅制御は不可能になる。RTPシステムの中心にあるあのハロゲンランプこそが熱管理の基本となる部分だ。 内部で重要なポイント ハロゲンランプは...