ウェーハ加熱時の安全距離

化学ウェーハを加熱する際に、物質が危険な状態にならないようにするためには、どうすればよいでしょうか？ 正直に言って、IRランプを化学洗浄液の中で使うのは、まるで火遊びのようなものです。空気中には揮発性有機化合物や可燃性の蒸気が漂っています。ちょっとした火花や表面温度の急上昇があれば、単に製品がダメ...