半導体製造工場における二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が効果的なのか 半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現しようとする場合、乾燥工程に目を向ける必要があります。この工程はエネルギー消費が激しいのです。従来の対流式オーブンでは、数枚のウェーハを乾燥させるためだけに、部屋全体を加熱してしまいます。...

ファブフロアでの常識 ウエハー乾燥やフォトレジストベーク中の0.1℃の温度逸脱が、ライン歩留まりを静かに損なうことは周知の通りです。ヒーターは単なる背景の箱ではなく、リソグラフィにおける寸法管理を支配する熱予算を設定します。私たちは、工程管理が絶対条件であり、予期せぬダウンタイムが直接ウエハーの廃...