晶圆加热的安全距离

在加热化学晶圆时确保安全，避免发生爆炸 说实话，用红外线灯对化学晶圆进行加热，其实就相当于在玩火。空气中充满了易挥发的有机化合物和易燃气体。只要有一点点火花或表面温度突然升高，就可能引发爆炸，从而导致整个批次的产品报废。 因此，我们不再使用普通的石英管，而是采用了专门的封装结构。 “安全间距”的难...