石英玻璃罩用于工厂灯

在晶圆制造车间，光刻胶烘烤不是“最佳操作流程”，而是一项热学承诺。软烘烤或硬烘烤过程中温度波动2°C都会导致关键尺寸偏移，使晶圆报废，甚至导致生产线停滞。热源必须达到设定点并稳定维持，循环往复，同时腔体保持清洁。 技术重点 石英玻璃护罩专为晶圆厂灯光环境设计。其在短波和中波红外线范围内传输稳定，且...