停止加热真空室壁面 在真空室内为晶圆加热其实是一件很麻烦的事。如果使用普通的辐射式加热器，热量会四处散开，这样既不高效，还会造成混乱。其结果是：真空室壁面会变得过热。这样一来，昂贵的半导体加工设备就变成了吸收废热的“海绵”。这不仅浪费电能，还对操作人员构成安全风险；长期而言，还可能使真空室壁面变形...

在芯片制造车间里，温度控制至关重要。哪怕光刻胶的烘烤温度偏离标准值0.2摄氏度，都可能导致关键尺寸控制失准。一旦真空室内的红外线加热器性能下降，不仅会导致产品良率降低，还会打乱整个生产计划。我们设计的红外线加热器能够满足现代芯片加工对温度控制的严格要求，符合半导体设备的标准，同时也能轻松替代现有的...