在加热化学晶圆时确保安全，避免发生爆炸
说实话，用红外线灯对化学晶圆进行加热，其实就相当于在玩火。空气中充满了易挥发的有机化合物和易燃气体。只要有一点点火花或表面温度突然升高，就可能引发爆炸，从而导致整个批次的产品报废。
“安全间距”的难题
如何确定红外线发射器与晶圆之间的最佳距离，其实是一个需要权衡的问题。这不仅关乎热量的均匀分布，还关系到能否避免引发爆炸。如果灯离晶圆太近，会导致晶圆上的化学残留物过热，从而产生有害气体——而这正是我们想要避免的。但如果灯离得太远，热量传递效率就会下降，处理时间也会变长。
为了解决这个问题，我们使用了定制的石英套管以及密封外壳。这些装置起到了防护作用，能够防止化学气体接触到带电的灯丝。
材料的重要性
我们将加热元件封装在高纯度的石英或特殊玻璃容器中，这样就能将电弧限制在容器内部。此外，我们还在连接点处设置了加强型密封装置。因为腐蚀性气体很容易侵蚀电线。如果将普通灯具放入化学环境中，其密封装置很快就会失效，灯具也会在几周内损坏。这无疑是一种浪费。而我们设计的封装式灯具则能够抵御酸性气体的侵蚀。
权衡因素
不过，使用保护外壳的话，就会增加一层热阻，从而导致热量传递速度稍有下降。不过这并不是不可接受的。通常可以通过提高功率或调整安全间距来解决这个问题——只要不超过设备允许的防爆范围即可。
另外，还要确保排气系统能够有效将化学气体从加热区域排出。这样就能确保整个区域的安全，让您更放心。