晶圆加工设备用温度传感器

别再把晶圆加工设备变成“烤箱”了 在制造晶圆加工设备时，最不希望看到的就是让设备内部结构因过热而损坏。 大多数传统的加热元件会将热量向各个方向散射，这样不仅效率低下，还会导致设备外壳膨胀，甚至给操作人员带来安全隐患。 我们则采用不同的方式——使用定向红外加热技术。 其工作原理 可以把它想象成手电筒...