如何在芯片制造厂减少碳排放？为什么红外加热方法如此有效？ 如果想要在芯片制造厂实现碳中和目标，就必须关注干燥环节。因为干燥过程会消耗大量能源。传统的对流式烤箱只是将热空气吹遍整个腔体，从而加热整个空间，以便干燥几片晶圆而已。这显然是浪费能源的做法。 我们找到了更好的方法：利用定向红外加热技术。 物...

在工厂车间，您知道流程：在晶圆干燥或光刻胶烘烤过程中，0.1℃的偏差可以悄无声息地降低产线良率。加热器不仅仅是背景中的一个设备——它设定了控制光刻中尺寸的热预算。我们为这一现实构建了工业晶圆干燥系统加热器，在这里，工艺纪律是不可妥协的，而计划外的停机直接导致晶圆报废。 技术上重要的内容 我们在基于...