涂布机开发者红外加热器

在光刻车间，烘烤步骤不是喘息的机会——这是一个严格的工艺边界。软烘烤和硬烘烤温度即使偏差一点也会导致光刻胶轮廓倾斜，影响关键尺寸控制，影响产量。当你的涂布/显影线以7×24的方式运行时，热稳定性不是“可有可无”的选择。这是保持工厂诚信的限制条件。 从技术上讲，什么才是重要的 我们围绕短波NIR源构...