别再把晶圆加工设备变成“烤箱”了
在制造晶圆加工设备时，最不希望看到的就是让设备内部结构因过热而损坏。
大多数传统的加热元件会将热量向各个方向散射，这样不仅效率低下，还会导致设备外壳膨胀，甚至给操作人员带来安全隐患。
我们则采用不同的方式——使用定向红外加热技术。
其工作原理
可以把它想象成手电筒，而不是普通灯泡。与其让热量四处散逸，我们利用特殊的反射器和波长发射器，将热量直接传递到晶圆上。这样一来，热量只会被引导到需要的地方，而设备外壳则能保持低温。这样就能精确控制基板的温度，而不会让设备内部变得像桑拿房一样。
为什么这能简化操作流程
这对冷却系统来说是个巨大的优势。如果使用普通灯泡，冷却系统就需要不断努力才能防止设备内部过热。但采用定向红外加热后，设备内部的温度会大幅下降。虽然这只是一个简单的解决方案，但它能确保操作人员在打开设备进行维护时不会被烫伤。这对整个车间来说都是一种好处。
注意事项及解决方法
不过，这种技术并非“即插即用”的。定向红外加热需要精确的控制，稍有偏差就会导致问题。如果灯的定位有几毫米的误差，那么晶圆上就会出现低温区域，这很麻烦。为了避免这种情况，必须确保安装支架非常稳固，不能有任何偏差。另外，这些灯的灯丝会变得非常热，因此接线部分必须足够可靠，否则连接点很快就会损坏。