在工厂车间，您知道流程：在晶圆干燥或光刻胶烘烤过程中，0.1℃的偏差可以悄无声息地降低产线良率。加热器不仅仅是背景中的一个设备——它设定了控制光刻中尺寸的热预算。我们为这一现实构建了工业晶圆干燥系统加热器，在这里，工艺纪律是不可妥协的，而计划外的停机直接导致晶圆报废。 技术上重要的内容 我们在基于...

热预算是制造现场无法妥协的关键因素。RTP过程中的温度均匀性波动会影响结深，而如果光刻胶的烘烤温度偏差即使只有几度，线宽控制也将受到影响。RTP系统核心的卤素灯就是热控制的起点。 内部关注的要点 我们对卤素灯的短波输出进行了规格设计，以便能量能够有效耦合到晶圆堆上。这样可以实现快速的升温速率而不出...