RTPシステム用ハロゲンランプ

熱予算はファブフロアで妥協できない唯一の要素である。RTP中の温度均一性のわずかな乱れは接合深度を変化させ、フォトレジストのベーク温度が数度ずれるだけで、ライン幅制御は不可能になる。RTPシステムの中心にあるあのハロゲンランプこそが熱管理の基本となる部分だ。 内部で重要なポイント ハロゲンランプは...