ファブランプ用クォーツガラスシールド

ファブフロアでのフォトレジスト焼成は「ベストプラクティス」ではありません。それは熱的なコミットメントです。ソフトベイクまたはハードベイク中に2℃の変動があると、重要な寸法がシフトし、ウェハが廃棄物になり、ラインが停止します。加熱源は設定温度に達し、その後もサイクルごとに維持される必要があります。チ...