無駄な電力の消費をやめよう：金メッキツインチューブランプの真実
半導体ウェハを処理する人なら、無駄に電力が消費されてしまうことの厄介さをよく知っているでしょう。一般的な石英ランプは単なる電球に過ぎず、エネルギーをあちこちに散らしてしまいます。その熱のほとんどは、実際にウェハに届く前に装置の筐体を温めてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
私たちはより良い方法を考え出しました。ツインチューブ構造に高反射率の金メッキを施すことで、エネルギーの漏れを防ぎます。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。金は赤外線を非常に効果的に反射する特性を持っています。ランプの裏面に薄い金メッキ層を施すことで、熱の移動の仕方を変えることができます。360度に向かってエネルギーが散らばる代わりに、エネルギーは直接ウェハに当たります。つまり、同じワット数でもより多くの熱が得られ、電気代を増やすことなく目的の温度に到達できます。
チューブが2つあれば、熱も2倍
ツインチューブ構造は、スペースを取らずにフィラメントの表面積を2倍にする優れた方法です。これにより、フィラメントが破損する心配なく、より多くのワット数を扱うことができます。秒単位で温度を上げる必要がある場合には、これが最適な解決策です。
デメリットもある
しかし、熱を効率的に集中させると、ウェハ上の温度勾配が急になります。そのため、PIDコントローラーをしっかり管理し、熱の偏りが生じないようにする必要があります。また、冷却システムも確認しておく必要があります。ウェハから戻ってくるエネルギーに対応できなければ、装置が変形する可能性があります。
設置方法
これらは交換用として作られているので、特別なアダプターは不要です。標準的な産業用コネクタを使って接続するだけです。
ちなみに、金メッキ部分を汚さないように注意してください。素手で触らないでください。指紋による油やほこりが熱を吸収してしまい、時間が経つとコーティングが傷ついてしまいます。常に清潔に保てば、長持ちします。