なぜ私たちが赤外線硬化にCNTを使用するのか
半導体業界もついに改善の動きを見せています。古い溶剤を使った乾燥方法や、鉛を多く含む工程を廃止しようという動きが活発になっています。そろそろその時です。
こうした「グリーン」な要求に応えるため、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを採用しています。従来の大きな抵抗素子とは異なり、ナノチューブのネットワークを使って電力を熱エネルギーに変換します。ほとんど無駄がありません。単純に効率的なのです。
秘密は熱にあります。
CNTを利用した加熱方式の特徴は、均一な熱場を作り出す点です。この特性を利用して赤外線硬化を行うのです。熱が表面だけに留まらず、基板全体に均等に分布されるのです。
もし「スキニング」という現象に悩まされたことがあれば、その苦しさはご存知でしょう。上層が早く乾燥してしまい、下層に溶剤が残り、製品が台無しになってしまいます。しかし、赤外線を利用すれば、そのようなことは起こりません。毎回、ウェーハ全体が均一に硬化されます。
地球にも、コスト面でも有益です。
従来のヒーターは、高温を得るために重金属や有害な塗料を使用していました。しかし、CNTは純粋な炭素からできており、温度を上げても有毒な化学物質は発生しません。
また、速さも驚くべきものです。目標温度に到達するのに数秒しかかかりません。そのため、巨大でエネルギー消費の多い予熱装置は不要になります。電気代も削減できます。
注意点（設置する前に必ず読んでください）
ただ単にCNTヒーターを古いオーブンに取り付けただけではダメです。うまく機能しません。
CNTヒーターは非常に速く加熱されるため、温度制御装置も迅速に反応する必要があります。サンプリングレートが遅かったり、PID調整が不適切だったりすると、設定値を超えて基板が壊れてしまいます。
一方で、このヒーターはコンパクトで重くありません。電源がCNTフィルムの電圧に対応していれば、大きくて重いハロゲンヒーターを置き換えるのに最適です。
正直、生産ラインの速度を落とすことなく、鉛フリー基準を満たす最も実用的な方法です。