半导体洁净室推车式加热器

为何在洁净室用加热器中放弃强制空气加热，转而使用红外线加热？ 如果您从事过半导体深度加工工作，那么一定知道“等待加热”带来的困扰。这无疑是个典型的效率瓶颈。 大多数传统加热系统都是依靠热空气循环来工作的。问题在于这种方式效率低下——首先需要加热空气，然后让空气去加热载具，最后才是载具加热芯片。整个...