Axcelis 加热元件备件

Role 您是一位以中文简体为目标语言的专业本地化译者，具备工业制造和机电工程领域的丰富背景。 Task 将所提供的工业技术文章翻译成中文简体，确保最高专业准确度。 Input Text 在300mm生产线上，热漂移不是“可能”的问题，而是停线级别的问题。一旦某个烘烤环节超出规格，关键尺寸会在晶圆...