
为何在洁净室用加热器中放弃强制空气加热,转而使用红外线加热?
如果您从事过半导体深度加工工作,那么一定知道“等待加热”带来的困扰。这无疑是个典型的效率瓶颈。
大多数传统加热系统都是依靠热空气循环来工作的。问题在于这种方式效率低下——首先需要加热空气,然后让空气去加热载具,最后才是载具加热芯片。整个过程需要大量时间,从而拖慢了整体流程的进度。
摒弃中间环节
红外线加热则完全不同。它不需要通过空气来传导热量,而是直接将能量传递到材料上。这样一来,就能更快地实现加热效果。当我们将工厂的加热方式从强制空气加热改为红外线加热后,产品的升温时间从几分钟缩短到了几秒钟。在大量生产的情况下,这些节省下来的时间就显得非常重要了。这样一来,每个班次就可以处理更多的芯片。
保持洁净与安静
另外,还有洁净室的问题。强制空气加热实际上相当于一个巨大的吸尘器,它会搅动周围的灰尘,这就意味着需要复杂的过滤系统以及持续的维护工作。而红外线加热则没有这个问题——它不会产生噪音,也没有任何部件会损坏或堵塞。此外,其设备体积更小,因此可以节省一些空间。
另一个优势:精确控制热量分布
红外线加热还能让热量集中在载具的特定区域,这样就能避免载具出现不均匀的变形,这对于那些注重精度的人来说非常重要。
当然,也有不足之处
红外线加热并非万能的。它需要有清晰的视线路径。如果载具的形状复杂或内部有凹陷,那么辐射就无法到达所有地方,从而导致某些区域温度过低。因此,我们不能简单地将这些系统直接安装使用,必须先确定辐射源的位置。如果灯泡距离载具太近,就会烧坏载具的表面。此外,还需要具备能够快速反应的PID控制器,因为温度上升的速度很快。