真空室红外加热器

在芯片制造车间里，温度控制至关重要。哪怕光刻胶的烘烤温度偏离标准值0.2摄氏度，都可能导致关键尺寸控制失准。一旦真空室内的红外线加热器性能下降，不仅会导致产品良率降低，还会打乱整个生产计划。我们设计的红外线加热器能够满足现代芯片加工对温度控制的严格要求，符合半导体设备的标准，同时也能轻松替代现有的...