在光刻车间里，光阻烘烤并非一个简单的步骤而已。它实际上决定了设计能否成功实现。无论是软烘还是硬烘，只要温度偏差达到1℃，就会导致线宽出现变化，而晶圆上也会留下潜在缺陷，这些缺陷只有在电气测试时才会显现出来。高效的晶圆加热器可以确保温度稳定，从而避免因热量损失而影响工艺质量。 我们设计的加热器采用了...

蒸汽笼罩着墙壁，地板也变得湿滑不堪，空气则十分寒冷。一呼吸，镜子就会起雾；毛巾在变干之前就显得冰冷。在这样的浴室里，提供热量并非可选项，而是一种必要的措施。不过，舒适性不能以电气安全为代价。正因如此，我们设计的红外线浴室加热器秉持着一个简单的原则：在潮湿环境下仍能保持可靠的电气性能。 关键在于其结...