LPCVD 용광로 가열 요소

팹 내에서는, 용광로의 가열 요소가 단순한 열원에 그치지 않습니다. 이 요소는 박막의 두께를 조절하고, 응력을 제어하며, 접합부의 안정성을 유지하는 역할도 합니다. 약간의 온도 변동만 있어도 품질이 급격히 떨어집니다. 게다가 입자가 발생하면 전체 생산량이 폐기되어버립...