산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터

공정 기술 문서 Fab 현장에서 여러분은 잘 알고 계실 것입니다: 웨이퍼 건조 또는 포토레지스트 베이크 중 0.1°C의 온도 변동은 조용히 라인 수율을 감소시킬 수 있습니다. 히터는 단순한 배경의 박스가 아니라, 리소그래피에서 치수 제어를 지배하는 열 예산을 설정합니...