진공 챔버의 벽을 가열하는 것을 중단하세요 진공 챔버 내부의 웨이퍼를 가열하는 것은 상당히 까다로운 작업입니다. 일반적인 복사형 히터를 사용할 경우, 열이 사방으로 퍼져나가서 혼란스러워집니다. 그 결과, 챔버의 벽이 과도하게 가열됩니다. 이렇게 되면 값비싼 반도체 장...

팹 플로어에서는 알다시피, 사소한 온도 변화도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.2°C만큼만 변해도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 진공 챔버 내의 적외선 히터가 제대로 작동하지 않으면, 단순히 생산 효율뿐만 아니라 생산 일정...