RTP 시스템용 할로겐 램프

열적 예산은 제조 현장에서 절대 타협하지 않는 요소입니다. RTP 동안 온도 균일성의 흔들림은 접합 깊이에 영향을 미치며, 포토레지스트 베이킹이 몇 도만 틀어져도 선폭 제어는 물 건너갑니다. RTP 시스템의 핵심에 있는 할로겐 램프? 바로 여기서 열적 규율이 시작됩니...